動作確認(2011.7.19)
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開始行:
[[スケジュール]]
*ステージ動作確認 [#iff6f8d9]
磁場中での動作を確認する。磁場なしと磁場中(どちらも大気圧)でステージ位置をデジタルノギスで測定。
測定地点はステージの動作部分テーブルの端と、外枠内法の間隔。
*大気中 [#pc976a89]
|Set[um]|measured[mm]|
|Home|6.82|
|10000|16.81|
|20000|26.76|
|30000|36.76|
|40000|46.765|
|50000|56.76|
|Home|6.82|
|50000|56.75|
|40000|46.775|
|30000|36.775|
|20000|26.76|
|10000|16.95|
|0|6.80|
|Home|6.82|
*磁場中 [#dd3d6860]
|Set[um]|measured[mm]|
|Home|6.82|
|20000|26.79|
|40000|46.76|
|Home|6.82|
|10000|16.77|
|20000|26.76|
|30000|36.76|
|40000|46.755|
|50000|56.78|
終了行:
[[スケジュール]]
*ステージ動作確認 [#iff6f8d9]
磁場中での動作を確認する。磁場なしと磁場中(どちらも大気圧)でステージ位置をデジタルノギスで測定。
測定地点はステージの動作部分テーブルの端と、外枠内法の間隔。
*大気中 [#pc976a89]
|Set[um]|measured[mm]|
|Home|6.82|
|10000|16.81|
|20000|26.76|
|30000|36.76|
|40000|46.765|
|50000|56.76|
|Home|6.82|
|50000|56.75|
|40000|46.775|
|30000|36.775|
|20000|26.76|
|10000|16.95|
|0|6.80|
|Home|6.82|
*磁場中 [#dd3d6860]
|Set[um]|measured[mm]|
|Home|6.82|
|20000|26.79|
|40000|46.76|
|Home|6.82|
|10000|16.77|
|20000|26.76|
|30000|36.76|
|40000|46.755|
|50000|56.78|
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